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单晶硅生长炉专用清炉设备

发布日期:2014-03-10 浏览次数:

简介:

单晶硅生长炉是采用直拉法生产太阳能级单晶的设备,在单晶硅的生产中,能否拉出符合质量要求的单晶,整个工艺卫生所起的作用是至关重要的,清炉这一环节是十分重要。单晶硅生长炉所需清炉的部位有:所有石墨器件上的浮尘和氧化硅一定要吸除干净;真空排气口和管道的氧化物每次清炉时都应清除干净,以保证排气畅通。氧化物的沉积目前需要人工细致的清理,不仅费时费力,也会因局部清理不到位而给生产带来隐患,采用非接触全方位的专用清炉设备是改进这一工艺的有效途径。可以增强炉体的清洁能力,提高单晶炉的工作效率,使其更安全,更经济的可靠运行。

 


工作原理:
    单晶硅生长炉专用清炉设备以压缩空气作为动力源,产生一定脉冲能量的冲击波,使积灰、结垢在炉体内或管道内的附着状态产生分离,并使原有的积灰、结垢发生疲劳断裂和破碎。积灰和结垢在冲击波的作用下,从附着面剥离而被一定流速流动的气体带出,根据积灰的物理性质优化控制使积灰得以及时有效地清除,保持炉体清洁。

 




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